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不止硅片,关于半导体晶圆的最全介绍

2019-02-08 03:33:35 网络整理 阅读:140 评论:0

晶圆(wafer)是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆,晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,再经切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展,形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。

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半导体晶圆材料的基本框架

20 世纪 50 年代,锗(Ge)是最早采用的半导体材料,最先用于分立器件中。集成电路的产生是半导体产业向前迈进的重要一步, 1958 年 7 月,在德克萨斯州达拉斯市的德州仪器公司,杰克·基尔比制造的第一块集成电路是采用一片锗半导体材料作为衬底制造的。

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半导体产业链流程

但是锗器件的耐高温和抗辐射性能存在短板,到 60 年代后期逐渐被硅(Si) 器件取代。 硅储量极其丰富,提纯与结晶工艺成熟, 并且氧化形成的二氧化硅(SiO2)薄膜绝缘性能好,使得器件的稳定性与可靠性大为提高, 因而硅已经成为应用最广的一种半导体材料。半导体器件产值来看,全球 95%以上的半导体器件和 99%以上的集成电路采用硅作为衬底材料。

2017 年全球半导体市场规模约 4122 亿美元,而化合物半导体市场规模约 200亿美元,占比 5%以内。 从晶圆衬底市场规模看, 2017 年硅衬底年销售额 87 亿美元, GaAs衬底年销售额约 8 亿美元。 GaN 衬底年销售额约 1 亿美元, SiC 衬底年销售额约 3 亿美元。硅衬底销售额占比达 85%+。 在 21 世纪,它的主导和核心地位仍不会动摇。但是 Si 材料的物理性质限制了其在光电子和高频、 高功率器件上的应用。

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半导体市场份额(按材料)

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