近日，三台ASML光刻机备受关注。
5月16日，日经亚洲评论报道称，中芯国际向国际半导体设备大厂ASML下单了一台价值1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机，预计将于2019年初交货。中芯国际去年就已宣布预研7nm工艺制程，若报道所称的EUV光刻机订单实现，也意味着国产7nm工艺制程有望早日到来。
ASML中国区总裁金泳璇今年年初曾透露，已有大陆晶圆厂巨头与 ASML展开7nm工艺制程的 EUV订单洽谈，2019年大陆首台EUV可望落地，并表示对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待。如今看来，当时所提及的晶圆厂应该就是中芯国际。
在中芯国际订购EUV消息后，紧接着又出现一则关于光刻机的新闻。5月19日，国内多家媒体报道称，长江存储迎来其第一台光刻机，如今该光刻机已运抵武汉天河机场，待相关手续办理完成后运至工厂。
据悉，这台光刻机同样来自ASML，为193nm浸润式光刻机，售价7200万美元，用于14nm~20nm工艺，这侧面透露了长江存储3D NAND闪存芯片的工艺制程，也意味着长江存储闪存芯片量产在即。据报道，4月11日长江存储的芯片生产机台已正式进场安装，按照规划将于今年底进行试产。
5月21日，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（华虹六厂）实现首台工艺设备光刻机搬入，该设备是来自ASML的NXT 1980Di光刻机，为目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。
华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，如今较原计划进度提前1个月实现首台光刻机搬入，意味着该项目提前取得了阶段性成果，未来五个月内该厂工艺设备将集中搬入并完成安装调试，计划年底前完成生产线串线并实现试流片。
