北周名将韦孝宽屡与斛律光交战皆不能获胜，他知道高纬昏庸，又听说斛律光与祖廷等权臣有隙，便制造了斛律光篡位的谣言，在邺城歌唱，歌曰：“百升飞上天，明月照长安”。百升为一斛，明月是斛律光的字，谣言暗喻斛律光有篡位之心。祖珽等乘机向高纬进谗言，又指使人诬告斛律光谋反。武平三年（572年）六月，高纬假赏给斛律光骏马一匹，约其第二天游观东山，诱到宫中，将其杀害，时年58岁。并以谋反罪尽灭其族，还派人抄家，结果只得到一些宴射用的弓箭刀鞘，并无余财。
北齐武平六年（575年），北周武帝率军攻北齐，因病班师。次年十月，复攻北齐。十二月，宇文邕复至平阳。周军集结约8万人，近城列阵，东西20余里。周军奋力进击，大败北齐援军，斩万余人，齐后主败退晋阳，周军乘胜向晋阳进军。隆化元年（576年），北齐帝高纬于平阳战败后，退至晋阳。周武帝率军乘胜追击。高纬退至邺城后，禅位于皇太子高恒，恒时年八岁。六年正月，，周军攻入邺城，北齐王公以下官员皆降。高恒在济州遣人持玺绂（fú）至赢州，禅位于任城王高湝，高纬等再逃青州。宇文邕派尉迟勤追击高纬和高恒至青州，在南邓村俘获。二月，周军攻下信都，俘北齐任成王高湝（jiē），广宁王高孝珩（héng）等。
577年，周武帝宇文邕攻入邺城，下诏追封斛律光为上柱国、崇国公，并指着诏令对众人说：“此人若在，朕岂能至邺”。随后，周武帝遣军平定各地反抗势力。北齐亡。北周统一北方。
